机译:兰姆波在3C-siC / alN膜上的传播应用于温度补偿,高灵敏度重量传感器
机译:沿3C-SiC / AlN膜传播的兰姆波在温度补偿,高灵敏度重力传感器中的应用
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机译:ZnO /硅和AlN /硅膜中的兰姆波和平板模式适用于能够与液体接触工作的传感器
机译:FBG传感器对Lamb波传播的响应及其在主动传感中的应用
机译:用于定时和频率控制应用的温度补偿和高Q压电铝氮化物振荡器谐振器
机译:沿3C-SiC / AlN膜传播的兰姆波在温度补偿高灵敏度重力传感器中的应用
机译:兰姆波在3C-siC / alN膜上的传播应用于温度补偿,高灵敏度重量传感器